99.999% 5 एन कार्बन टेट्राफ्लोराइड cf4, अर्धचालक इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैस उद्योग में उच्च तकनीकी बाधाएं हैं। सेमीकंडक्टर इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैसों की उत्पादन प्रक्रिया में कई प्रक्रिया प्रौद्योगिकियां शामिल हैं जैसे संश्लेषण, शुद्धिकरण, मिश्रित गैस तैयारी, भरने, विश्लेषण और परीक्षण और गैस सिलेंडर हैंडलिंग जैसी कई प्रक्रिया शामिल हैं। प्रत्येक चरण में सख्त तकनीकी पैरामीटर आवश्यकताएं और गुणवत्ता नियंत्रण उपाय हैं। सेमीकंडक्टर उपकरणों की गुणवत्ता और उपज को सुनिश्चित करने के लिए, विशेष गैस उत्पादों को एक ही समय में "अल्ट्रा-शुद्ध" और "अल्ट्रा-क्लीन" की आवश्यकताओं को पूरा करना चाहिए। "अल्ट्रा-शुद्ध" गैस शुद्धता 4.5n, 5n या यहां तक कि 6n, 7n (n नौ का संक्षिप्त नाम है, और कई n और कई 9s हैं। "अल्ट्रा-क्लीन" कणों और धातु की अशुद्धियों की सामग्री पर सख्त नियंत्रण की आवश्यकता होती है। विशेष गैसों के रूप में, एक n द्वारा शुद्धता में प्रत्येक वृद्धि और कणों और धातु की अशुद्धियों की एकाग्रता में प्रत्येक कमी से प्रक्रिया जटिलता और कठिनाई में वृद्धि होगी।

• पूर्व: सीएफ4
• अगला: इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड कार्बन टेट्राफ्लोराइड CF4 99.999%