कार्बन टेट्राफ्लूराइड cf4 फ्लोरीन और मुक्त कट्टरपंथी कार्बन फ्लोराइड का एक स्रोत है, जिसका उपयोग विभिन्न वाफर एचिंग प्रक्रियाओं में किया जाता है। कार्बन टेट्राफ्लोराइड cf4 को ऑक्सीजन के साथ एच पोलिसिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड और सिलिकॉन नाइट्राइड के साथ संयुक्त किया जाता है। कार्बन टेट्राफ्लोराइड सामान्य परिस्थितियों में अपेक्षाकृत निष्क्रिय है और अव्यक्त क्षेत्रों में घुटन का कारण बन सकता है। एक रेडियो आवृत्ति प्लाज्मा वातावरण में, फ्लोरीन मुक्त कण विशिष्ट कार्बन ट्राइफ्लोराइड या कार्बन डाफ्लोराइड के रूप में दिखाई देते हैं। उच्च शुद्धता कार्बन टेट्राफ्लोराइड प्रसंस्करण प्रक्रिया को अच्छी तरह से नियंत्रित कर सकता है, ताकि आकार और आकार को बेहतर नियंत्रित किया जा सके। यह अन्य हेलोकार्बोन्स से अलग है जो हवा या ऑक्सीजन का सामना करने पर विभिन्न विशेष नियंत्रण (जैसे अर्धचालक एनासोट्रॉपी नियंत्रण) के लिए अनुकूल नहीं हैं। इसकी उच्च शुद्धता गैस और उच्च शुद्धता वाले कार्बन टेट्राफ्लुओराइड गैस और उच्च शुद्धता वाले कार्बन टेट्राफ्लूइड गैस और उच्च शुद्धता वाले ऑक्सीजन का मिश्रण व्यापक रूप से उपयोग किया जा सकता है। फास्फोरस सिलिकॉन ग्लास और टंगस्टन पतली फिल्म सामग्री। कार्बन टेट्राफ्लोराइड cf4 उच्च सांद्रता पर एक एनेस्थेटिक प्रभाव पड़ता है। इसकी उच्च शुद्धता गैस और उच्च शुद्धता वाले ऑक्सीजन के साथ इसका मिश्रण माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में सबसे व्यापक रूप से उपयोग किया जाने वाला प्लाज्मा एचिंग गैसें हैं। उन्हें कम तापमान वाले रेफ्रिजरेटर और कम तापमान इन्सुलेट मीडिया के रूप में भी इस्तेमाल किया जा सकता है। इसमें अच्छी रासायनिक और थर्मल स्थिरता है, कई रिएजेंटों के लिए निष्क्रिय है, और 1000 में हाइड्रोलाइज नहीं करता है। यह कमरे के तापमान पर तांबे, निकल और टंगस्टन के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है। C-F बांड की अत्यंत मजबूत रासायनिक स्थिरता के कारण, cf4 द्वारा प्रतिनिधित्व किए जाने वाले पेरोरोकार्बन को मूल रूप से गैर विषैले माना जा सकता है।

टेट्राफ्लूओरोमेथाणे (cf4) में उच्च स्थिरता होती है और यह पूरी तरह से गैर-ज्वलनशील गैस है। यह कमरे के तापमान पर एसिड, क्षारीय और ऑक्सीडेंट्स के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है, cu, na, w, और मो के नीचे के 900 के साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है, और कार्बन, हाइड्रोजन और ch4 के नीचे 1000 साथ प्रतिक्रिया नहीं करता है। यह कमरे के तापमान पर तरल अमोनिया-सोडियम धातु अभिकर्मकों के साथ प्रतिक्रिया कर सकता है, और cf4 alkali धातुओं, क्षारीय पृथ्वी धातुओं और सिओ2 के साथ उच्च तापमान पर प्रतिक्रिया कर सकता है। Cf4 800 ptc पर विघटित हो जाता है और एक इलेक्ट्रिक आर्क की कार्रवाई के तहत cof2 बनाने के लिए सह और सह 2 के साथ प्रतिक्रिया कर सकता है। कुछ लोगों ने अन्य फ्लोरोकार्बन चाप के तापमान पर cf4 को पॉलीमराइज करने की भी कोशिश की है।

• पूर्व: Cf4 गैस
• अगला: 99.999% 5 एन कार्बन टेट्राफ्लोराइड cf4