cas: 75-73-0
कैस: 200-896-5 आणविक सूत्र: cf4 आणविक भार: 88 पिघलने बिंदु: -184 FASIकार्बन टेट्राफ्लुओराइड माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में सबसे व्यापक रूप से उपयोग किया जाने वाला प्लाज्मा मोमबत्ती उत्कीर्णन गैस है। यह उच्च शुद्धता वाली गैस और उच्च शुद्धता वाली कार्बन टेट्राफ्लूराइड गैस का मिश्रण है। इसका व्यापक रूप से सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड, सिलिकॉन नाइट्राइड, फॉस्फोरस सिलिकॉन ग्लास और टंगस्टन पतली फिल्म सामग्री के मोमबत्ती उत्कीर्णन में व्यापक रूप से उपयोग किया जा सकता है। सिलिकॉन और सिलिकॉन डाइऑक्साइड प्रणालियों के लिए, CF4-H2 प्रतिक्रियाशील आयन एचिंग का उपयोग करते समय, दो गैसों के अनुपात को समायोजित करके, 45:1 की चयनात्मकता प्राप्त की जा सकती है, यह बहुत उपयोगी है जब पॉलीसिलिकॉन गेट्स पर सिलिकॉन डाइऑक्साइड फिल्मों को एचिंग करते हैं।
2 यह व्यापक रूप से इलेक्ट्रॉनिक उपकरण सतह की सफाई, सौर सेल उत्पादन, लेजर प्रौद्योगिकी, गैस चरण इन्सुलेशन, कम तापमान प्रशीतन,
लीकेज डिटेक्शन एजेंट में भी उपयोग किया जाता है। मुद्रित सर्किट उत्पादन में अंतरिक्ष रॉकेट दृष्टिकोण और डीकोनाटामिनेशन एजेंट का नियंत्रण.3 । इसकी अत्यधिक मजबूत रासायनिक स्थिरता के कारण, cf4 का उपयोग धातु स्मेल्टिंग और प्लास्टिक उद्योगों में भी किया जा सकता है। कार्बन टेट्राफ्लोराइड में अच्छी ऑक्सीजन विलेबिलिटी है, इसलिए इसका उपयोग वैज्ञानिकों द्वारा अल्ट्रा-डीप डाइविंग प्रयोगों में साधारण संपीड़ित हवा को बदलने के लिए किया जाता है। यह चूहों पर सफलतापूर्वक उपयोग किया गया है, और चूहों अभी भी 275 की गहराई से 366 मीटर तक सुरक्षित रूप से बच सकते हैं।